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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 二氧化硅RIE刻蚀
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c_kDr

金虫 (小有名气)
楼主做没做过硅的微刻蚀，刻蚀厚度可以控制在15-20 nm左右
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11楼2014-10-17 08:12:26
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罗军王

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 雨之长门 at 2014-10-16 22:53:59
同型号RIE刻蚀机，刻蚀Si02的话CHF3的流量是65sccm,射频功率100W左右

那你的刻蚀速率能达到多少？还有粗糙度怎么样，感谢
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多看多读多学习
12楼2015-03-25 15:56:26
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