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纳米制备艺术(16):硅尖列阵制备工艺(RIE on SiO2层)
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Giantslug
金虫
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虫号: 2934240
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性别: GG
专业: 半导体电子器件
[交流]
纳米制备艺术(16):硅尖列阵制备工艺(RIE on SiO2层)
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本木虫郑重声明:本人在小木虫网站上展示的所有成果都是Giantslug本人自己的工作。
第二步:用光刻胶立柱为掩膜,在等离子体下对SiO2薄膜腐蚀,去掉SiO2层。形成SiO2+剩余光刻胶的掩膜。照片拍得不够清晰。SiO2薄膜不很清楚。
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2014-02-15 11:54:17
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profzhou
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专业: 细胞增殖、生长与分化
看起来 挺漂亮
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2楼
2014-02-16 11:19:12
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windyswust
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性别: GG
专业: 等离子体物理
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
等离子刻蚀……,做的很精细啊,
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3楼
2014-02-18 10:27:33
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smicboy
铁虫
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虫号: 274887
注册: 2006-08-27
专业: 半导体电子器件
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
线条粗糙度怎么保证呢
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼
2014-04-10 21:09:32
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