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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米制备艺术（16）：硅尖列阵制备工艺（RIE on SiO2层）
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术（16）：硅尖列阵制备工艺（RIE on SiO2层） 已有3人参与

本木虫郑重声明：本人在小木虫网站上展示的所有成果都是Giantslug本人自己的工作。
纳米制备艺术（16）：硅尖列阵制备工艺（RIE on SiO2层）
第二步：用光刻胶立柱为掩膜，在等离子体下对SiO2薄膜腐蚀，去掉SiO2层。形成SiO2+剩余光刻胶的掩膜。照片拍得不够清晰。SiO2薄膜不很清楚。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
1楼 2014-02-15 11:54:17
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smicboy

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
线条粗糙度怎么保证呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-04-10 21:09:32
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windyswust

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
等离子刻蚀……，做的很精细啊，
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一步一个脚印
3楼2014-02-18 10:27:33
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