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liefchow新虫 (初入文坛)
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请教RIE刻蚀PS球的工艺参数 已有4人参与
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大家好！第一次在小木虫发帖请教，应该没有发错地方吧。 我最近想用RIE刻蚀PS球，将PS球的直径减小。昨天按照文献上的做了两个样品，都失败了。文献中用的功率是30W，但是我发现30W根本不能起辉，于是增加到50W。不过，刻蚀了1分钟，居然把球全部刻蚀掉了。郁闷。 我想知道大家刻蚀PS球的时候，用的参数是怎样的？如气压，功率，氧气流速，时间等参数都是怎样的？ |
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2楼2012-05-28 13:46:16
liefchow
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