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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】一般用什么刻蚀ITO电极？
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zgm029

铁虫 (正式写手)

[交流] 【请教】一般用什么刻蚀ITO电极？ 已有10人参与

如题，请知道的朋友帮忙，另外需不需要光刻胶呢？谢谢！
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1楼 2010-08-30 05:48:36
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chinasky301

金虫 (小有名气)

sky
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你要求精度是多少  如果 对精度 要求不是太高  用稀盐酸 就可以 也不用光刻胶
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2楼2010-08-31 11:44:25
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汉王重出江湖

木虫 (著名写手)

辽南王子
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看你做什么用了，一般用酸刻蚀
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自己永远要追求最完美！宠辱不惊，看庭前花开花落；去留无意，望天上云卷云舒。我现在喜欢上了一句话叫有心栽花花不发，无心插柳柳成荫。
3楼2010-08-31 17:04:53
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sidalixue

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
一般用酸就可以
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4楼2010-08-31 18:59:56
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tianxiaochun

实习版主 (知名作家)

聪聪家族之无敌小破孩
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
什么是刻蚀？？？
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我很个性，无需签名！
5楼2010-08-31 23:06:18
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wqnow

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
1：1盐酸泡半小时就可以了
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6楼2010-09-01 22:47:55
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zgm029

铁虫 (正式写手)
可是用酸非常容易将不想被刻蚀掉的地方刻蚀掉啊，有没有流动性比较小，比较粘稠的东西作刻蚀呢？精度也不高，毫米级！如果哪位用过普通的酸的话，那是用什么防护不想被刻蚀掉的地方的呢？ 谢谢！
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7楼2010-12-22 02:17:00
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wqnow

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
呵呵，透明胶粘上就行了
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8楼2010-12-22 12:00:32
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zgm029

铁虫 (正式写手)
谢谢，去试试！先前想过，但觉得不太可行。还是先去试试吧！多谢！
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9楼2010-12-22 17:29:55
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xiaohunhun

木虫 (著名写手)

珊瑚岛混混,小元家老末
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
H3PO4:CH3COOH:HNO3:Additive:H2O=69:10:2.5:2:16.5 wt%
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1.天天大脑风暴很重要。2.这个世界最可怕的不是很多人比你牛逼，而是比你牛逼的人还比你努力！3.If you don't run fast,you will get trampled
10楼2011-08-05 19:09:55
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