应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅刻蚀设备求推荐
汕头大学海洋科学接受调剂
51/1返回列表
查看: 3138  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 硅刻蚀设备求推荐 已有6人参与

最近在调研一些硅刻蚀的设备。但是对这方面不是很了解。
说一下我们的目的。
我们主要是想在氧化片上做二氧化硅的微结构，然后对衬底硅进行刻蚀形成二氧化硅的支撑。
也就是说，我们想刻蚀硅，但是又不想刻蚀表面的二氧化硅微结构。
实验室自己用。

老板让我调研一下ICP的相关设备。
不是很了解，求推荐一下。

看了目前几个设备。
1、Oxford  PlasmaPro 100
2、sentech ICP-RIE SI 500
3、微电子所的 ICP-8A
4、还有个日本的 Samco 牌的，没查明白哪种型号能用。
还有在小木虫搜到的帖子。http://muchong.com/html/201304/5774852.html
里面提到
北方微电子  GSE 200系列 ICP
北京东方中科集成科技股份有限公司  电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统SI500（SENTECH）
北京创世威纳科技   ICP-8100 型感应耦合等离子刻蚀设备
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

科研设备设施

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-09-16 17:33:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小小弟

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by vivilee3609 at 2015-05-19 09:41:29
我们实验室用的Oxford  PlasmaPro 100

您好，请问是你们课题组自己买的吗
赞一下 回复此楼
7楼2018-12-20 15:54:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+2 2014-09-16 21:55:58
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂，没保证。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-16 21:26:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂， ...

SPTS的可能实在贵。。。
之前问过他家的二氟化氙刻蚀设备，100万左右。
ICP估计更贵了。
我联系一下问问吧。
谢谢。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
3楼2014-09-16 21:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

n1304385070

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2015-01-20 11:36:37
北京创世威纳的就别考虑了，我们实验室就有，特别不稳定，总出问题，基本不能用
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-20 10:28:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿西交机械专硕求调剂 +9 求上岸的小王 2026-04-10 9/450 2026-04-13 16:08 by jiangguiquan11
[考研] 一志愿双非085400电子信息344 求调剂，对材料和化学方向也感兴趣 +12 无情的小羊 2026-04-09 13/650 2026-04-13 14:17 by 张zhihao
[考研] 人工智能320调剂08工类还有机会吗 +15 振—TZ 2026-04-10 16/800 2026-04-13 14:11 by 张zhihao
[考研] 290求调剂 +18 柯淮然 2026-04-12 20/1000 2026-04-13 12:56 by cyh—315
[教师之家] 山东双非院校考核超级无底线，领导幸灾乐祸，教师遭殃恐 +3 qut2026 2026-04-11 7/350 2026-04-12 20:24 by qut2026
[考研] 22408 352分求调剂 +5 努力的夏末 2026-04-09 5/250 2026-04-12 19:17 by wj165256
[考研] 化学308分求调剂 +22 你好明天你好 2026-04-07 24/1200 2026-04-11 11:14 by ChemPharm
[考研] 0854调剂 +5 音像店听花鼓戏 2026-04-10 5/250 2026-04-11 10:49 by qingpingzhu
[考研] 283求调剂，工科！ +12 苏打水7777 2026-04-08 12/600 2026-04-11 10:28 by 逆水乘风
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH（等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 求调剂 +5 不会飞的鱼@ 2026-04-10 5/250 2026-04-10 19:07 by chemisry
[考研] 265求调剂 +12 风说她早忘了 2026-04-10 13/650 2026-04-10 18:56 by chemisry
[考研] 一志愿矿大，材料工程专硕314分，0856可调都可以 +15 无懈可击的巨人 2026-04-09 15/750 2026-04-10 18:10 by hmn_wj
[考研] 085404，334分，求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 8/400 2026-04-09 07:26 by sunjie8888
[考研] 331求调剂 +5 luoxin0706. 2026-04-08 5/250 2026-04-08 22:15 by zhouyuwinner
[考研] 296求调剂 +3 汪！？！ 2026-04-08 3/150 2026-04-08 22:00 by zhouyuwinner
[考研] 331求调剂 +5 张元一 2026-04-07 6/300 2026-04-07 22:13 by hemengdong
[考研] 316求调剂 +4 15318418673 2026-04-07 4/200 2026-04-07 22:12 by hemengdong
[考研] 一志愿西电085401求调剂 +4 sunw1306 2026-04-07 4/200 2026-04-07 16:40 by 啵啵啵0119
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭