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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅刻蚀设备求推荐
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[交流] 硅刻蚀设备求推荐 已有6人参与

最近在调研一些硅刻蚀的设备。但是对这方面不是很了解。
说一下我们的目的。
我们主要是想在氧化片上做二氧化硅的微结构，然后对衬底硅进行刻蚀形成二氧化硅的支撑。
也就是说，我们想刻蚀硅，但是又不想刻蚀表面的二氧化硅微结构。
实验室自己用。

老板让我调研一下ICP的相关设备。
不是很了解，求推荐一下。

看了目前几个设备。
1、Oxford  PlasmaPro 100
2、sentech ICP-RIE SI 500
3、微电子所的 ICP-8A
4、还有个日本的 Samco 牌的，没查明白哪种型号能用。
还有在小木虫搜到的帖子。http://muchong.com/html/201304/5774852.html
里面提到
北方微电子  GSE 200系列 ICP
北京东方中科集成科技股份有限公司  电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统SI500（SENTECH）
北京创世威纳科技   ICP-8100 型感应耦合等离子刻蚀设备
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1楼 2014-09-16 17:33:49
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vivilee3609

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室用的Oxford  PlasmaPro 100
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5楼2015-05-19 09:41:29
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+2 2014-09-16 21:55:58
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂，没保证。
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2楼2014-09-16 21:26:16
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 21:26:16
ICP的话，能刻的比较深。
如果要买进口的，肯定是买STPS，没别的选择，你上面列出来的那几家都不划算，工艺烂，设备也差。代理是香港镭射。
如果要买国产的，毫无疑问选微电子所。  北方微的太贵，创世公司太烂， ...

SPTS的可能实在贵。。。
之前问过他家的二氟化氙刻蚀设备，100万左右。
ICP估计更贵了。
我联系一下问问吧。
谢谢。
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3楼2014-09-16 21:39:26
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n1304385070

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wj0702114081: 金币+3, 谢谢 2015-01-20 11:36:37
北京创世威纳的就别考虑了，我们实验室就有，特别不稳定，总出问题，基本不能用
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4楼2015-01-20 10:28:08
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