24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 4.5
帖子: 33
在线: 11小时
虫号: 1553776
注册: 2011-12-27
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射过程中，Ar气流速对镀膜有什么影响？已有7人参与

最近实验，一直不知道Ar的流速到底应该怎么控制，是应该多还是应该少？
Ar流速高，真空腔内的Ar分子相对较多，在维持压强不变的情况下，靶材的分子就会相对偏少，不利于膜的形成
Ar流速低，虽然靶材的分子较多，但对起辉和电离影响大

不知道这样理解对不对？有没有相关文献讨论流速问题

求解答

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

真空镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有0人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费? 已经有286人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射氮化硅薄膜？已经有7人回复
磁控溅射电阻真空计的问题已经有24人回复
磁控溅射镀膜机样品架制作已经有4人回复
镀膜技术-磁控溅射已经有1人回复
用磁控溅射镀膜时为什么起辉电压显示为0？是短路了吗？已经有7人回复
溅射系统真空度抽不上去已经有16人回复
磁控溅射只充氩气的话可以镀膜，加一点儿氮气就镀不上是怎么回事？已经有18人回复
磁控溅射镀膜 TiN氮化钛已经有20人回复
磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？已经有7人回复
关于磁控溅射直流镀锌已经有25人回复
要同时测混合气体中的氮气和氧气应该用什么柱子？已经有23人回复
射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体已经有11人回复
请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？已经有22人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复

1楼 2014-07-29 16:18:31

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 4.5
帖子: 33
在线: 11小时
虫号: 1553776
注册: 2011-12-27
专业: 半导体材料

引用回帖:

9楼: Originally posted by cz.87101 at 2014-08-03 11:38:17
Ar流量影响很小，流速设置主要看腔室大小

学校实验的小机台，六寸晶圆左右的20sccm足够了，基本不用变。

镀膜质量与Ar流速关系不大，流速大的时候，真空泵阀门就开的大，流速小的时候，阀门也相应的开的小，两 ...

所以，可以认为，压强是主要影响因素之一，而通气的流速并不影响。只要保证流速不是非常小，足够起辉就可以。
这样理解对吗