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dahuajia铁虫 (初入文坛)
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磁控溅射的成膜速率问题？ 已有3人参与
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一般的磁控溅射设备溅射金属膜的话，成膜速率为多快？想溅射一层2μm厚的Au。 研究残余应力。用磁控溅射可以不？有没有大神了解这个啊。 |
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5楼2014-07-22 10:52:46
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