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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射的成膜速率问题？
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dahuajia

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射的成膜速率问题？ 已有3人参与

一般的磁控溅射设备溅射金属膜的话，成膜速率为多快？想溅射一层2μm厚的Au。
研究残余应力。用磁控溅射可以不？有没有大神了解这个啊。
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1楼 2014-07-03 19:24:24
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

金靶, 要多少钱啊? SEM的实验室有喷金的设备
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3楼2014-07-21 20:40:18
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dahuajia: 金币+5 2014-12-09 11:21:27
磁控溅射金是可以做的，但是如果你要用自己的设备做的话，靶材价格比较贵，然后速率的话，直流溅射纯金属速度还是蛮快的

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-07-21 19:11:01
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metaliium

银虫 (正式写手)
2微米？2000美元一块样品？不要这么土豪吧。。。= =
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4楼2014-07-22 10:39:44
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we缘分恰巧

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟你的溅射功率有关的嘛，你的溅射功率大，成膜速率就越大。
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5楼2014-07-22 10:52:46
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