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dahuajia

铁虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射的成膜速率问题? 已有3人参与

一般的磁控溅射设备溅射金属膜的话,成膜速率为多快?想溅射一层2μm厚的Au。
研究残余应力。用磁控溅射可以不?有没有大神了解这个啊。
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dahuajia: 金币+5 2014-12-09 11:21:27
磁控溅射金是可以做的,但是如果你要用自己的设备做的话,靶材价格比较贵,然后速率的话,直流溅射纯金属速度还是蛮快的

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-07-21 19:11:01
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

金靶, 要多少钱啊? SEM的实验室有喷金的设备
3楼2014-07-21 20:40:18
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metaliium

银虫 (正式写手)

2微米?2000美元一块样品?不要这么土豪吧。。。= =
4楼2014-07-22 10:39:44
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we缘分恰巧

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟你的溅射功率有关的嘛,你的溅射功率大,成膜速率就越大。
5楼2014-07-22 10:52:46
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