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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 磁控溅射火花

磁控溅射在做清洗的时候,加负偏压300V后,基片台上出现电火花,请问是怎么回事,原理是?
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镀金
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

引用回帖:
2楼: Originally posted by nanshanshu at 2013-10-23 17:05:32
莫不是短路了吧?

线路还算正常
镀金
4楼2015-05-11 09:17:55
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nanshanshu

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

莫不是短路了吧?
2楼2013-10-23 17:05:32
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

引用回帖:
2楼: Originally posted by nanshanshu at 2013-10-23 17:05:32
莫不是短路了吧?

没有短路,工程师说正常,负偏压小的时候火花小,直到没有火花,负偏压指针摆动的很厉害
镀金
3楼2013-10-24 11:32:02
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757651772

新虫 (初入文坛)

我也是这样的情况 请问是什么原因 解决了吗
5楼2018-10-17 16:56:34
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