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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 磁控溅射火花
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 磁控溅射火花

磁控溅射在做清洗的时候，加负偏压300V后，基片台上出现电火花，请问是怎么回事，原理是？
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镀金
1楼 2013-10-23 16:58:14
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿
引用回帖:
2楼: Originally posted by nanshanshu at 2013-10-23 17:05:32
莫不是短路了吧？

线路还算正常
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镀金
4楼2015-05-11 09:17:55
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nanshanshu

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

莫不是短路了吧？
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2楼2013-10-23 17:05:32
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿
引用回帖:
2楼: Originally posted by nanshanshu at 2013-10-23 17:05:32
莫不是短路了吧？

没有短路，工程师说正常，负偏压小的时候火花小，直到没有火花，负偏压指针摆动的很厉害
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镀金
3楼2013-10-24 11:32:02
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757651772

新虫 (初入文坛)
我也是这样的情况 请问是什么原因 解决了吗
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5楼2018-10-17 16:56:34
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