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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 磁控溅射火花

磁控溅射在做清洗的时候,加负偏压300V后,基片台上出现电火花,请问是怎么回事,原理是?
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镀金
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nanshanshu

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

莫不是短路了吧?
2楼2013-10-23 17:05:32
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