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mercuryw

禁虫 (小有名气)
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磁控溅射靶材资料大全

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1楼 2013-10-05 16:32:57
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lwei_txj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by mercuryw at 2013-10-06 15:17:33
真空应该还好。
臭味肯定是硒相关的，但是不知道是什么，常温下Se应该不会升华才对啊。貌似只有H2Se才有臭味，但磁控过程中应该不会生成才对...难道真是有真空不好，少量水汽进入反应了？...

Se最好别去做。感觉你安全意识几乎没有，“貌似H2Se才有臭味”等你闻到它的臭味以后就再也没机会闻了。不知道现在还在不再做，建议做点别的，薄膜方向很多的。
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4楼2015-05-04 11:15:25
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
是不是真空的问题？
如果有漏气，溅射后靶材中心会变黑

你闻到的臭味，是不是Se粉的味道？少闻为好，小心中毒啊
赞一下 回复此楼
2楼2013-10-05 16:46:38
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mercuryw

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2013-10-06 15:17:33
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