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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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磁控溅射靶材资料大全 资源 真空镀膜类技术资料

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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


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引用回帖:
8楼: Originally posted by HHBWF at 2013-07-01 16:42:09
就是普通的磁控溅射啊  溅射时候 靶材表面起辉 不过靶材利用率都很低 我看靶材用久了都是一个圆环装的沟 说明不是整个靶材表面都能溅射的到 靶材肯定是对准 要镀膜的基片了 我准备就是把Cu切成小块 贴在 那个圆环状 ...

我知道,你的靶材在下、基片在靶材上方,并且面朝下?
9楼2013-07-01 18:55:41
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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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2楼2013-06-30 10:21:00
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zhoujun65

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
卡以去买现成掺杂的靶材,不必这么麻烦
3楼2013-06-30 16:24:24
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
估计不行
成本都不好控制

起弧没问题,如果是靶面朝上的话,直接放上去就行了,如果是朝其他角度,估计比较麻烦。银胶不好使,溅射时靶面会升温,银胶不久干了就不黏了。
4楼2013-07-01 00:26:19
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