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11lhuang1

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射镀膜

磁控溅射镀薄膜是很常见的一种镀膜方式,想和大家交流一下镀膜经验,如何才能得到粘附性好均匀的薄膜。Ar流量、工作压强、本底真空度、溅射功率、靶基间距等参数对成膜质量的影响。以及一些磁控溅射法镀膜的技巧分享。希望专业人士或有一定了解和经验的人士分享你们经验,拜谢!
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