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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控镀镀铝膜
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美邓

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控镀镀铝膜

各位大侠：
    我分别用直流和射频在载玻片上溅射铝膜，可是溅射之后颜色是咖色的，而且膜很不均匀，载玻片上一半是咖色一半是透明的，请问是什么原因？谢谢了
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美邓

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1楼 2013-05-28 09:09:50
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underdog-82

铁虫 (小有名气)
莫非被氧化了？
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美邓
9楼2013-06-03 01:43:04
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WHU畅

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-05-28 14:37:23
美邓: 金币+2 2013-05-28 15:20:28
Al靶材经常使用么？若不是起辉前有没有抛光过，这是其一；载玻片上面薄膜不均匀这有点不正常呀，你的那个有孔的用来控制范围用的钢板是不是放歪了或者载玻片放歪了导致薄膜只有一半？再或者是载玻片与托盘的连接松动了导致的？  
PS：磁控Al靶材为什么要用射频的。。 直流就可以了啊。
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美邓
2楼2013-05-28 11:28:37
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美邓

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by WHU畅 at 2013-05-28 11:28:37
Al靶材经常使用么？若不是起辉前有没有抛光过，这是其一；载玻片上面薄膜不均匀这有点不正常呀，你的那个有孔的用来控制范围用的钢板是不是放歪了或者载玻片放歪了导致薄膜只有一半？再或者是载玻片与托盘的连接松动 ...

铝靶倒是不怎么用，但是在用之前我是打磨过的，而且我分别做了三次都不均匀，主要颜色也不对。另外，一开始的时候我也怀疑是不是钢板歪了，我就镀了别的物质，结果是均匀的，所以应该是可以排除钢板放歪了。用射频的原因是第一次用的直流没长均匀就用了射频。我用的功率是20w直流是不是有点小啊
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3楼2013-05-28 15:24:16
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WHU畅

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 鼓励交流！ 2013-05-28 18:19:24
美邓: 金币+1, ★有帮助 2013-05-28 20:31:53
引用回帖:
3楼: Originally posted by 美邓 at 2013-05-28 15:24:16
铝靶倒是不怎么用，但是在用之前我是打磨过的，而且我分别做了三次都不均匀，主要颜色也不对。另外，一开始的时候我也怀疑是不是钢板歪了，我就镀了别的物质，结果是均匀的，所以应该是可以排除钢板放歪了。用射频 ...

我没做过Al靶的，所以也不是特别确定你的问题出在哪，只能以平时做Pt、Ti、Au、Ag，偶尔用射频做一下SiN的经验来说一下了。我们做直流的功率都是200w。。。反正做出来的膜质量都还不错。 你要不就试试加加功率啥的。再者就是你起辉时候通的气体了，流量，气压等
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4楼2013-05-28 18:08:05
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