| 查看: 6320 | 回复: 33 | |||||
dearsodium铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与
|
||||
最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！ IMG_20130407_195546.jpg  IMG_20130407_195644.jpg  IMG_20130407_195657.jpg  IMG_20130407_195821.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | 磁性材料 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
论文投稿期刊
已经有4人回复
-
MDPI [Buildings, Geosciences, Heritage, Minerals, Sustainability] 专题征稿
已经有6人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有56人回复
-
MDPI [Applied Sciences, Land, Remote Sensing, Sensors] 专题征稿
已经有1人回复
-
26/27申博
已经有2人回复
-
MDPI 多期刊联合专题征稿
已经有1人回复
-
MDPI 多期刊联合专题征稿—AI 材料
已经有0人回复
-
TiNb合金抛光-电解抛光
已经有1人回复
-
7075材料过滤难
已经有0人回复
-
达姆施塔特市中心好房出租
已经有52人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
6楼2013-04-07 21:22:01
mzhuxust
木虫 (小有名气)
- 应助: 67 (初中生)
- 金币: 2630.6
- 红花: 8
- 帖子: 297
- 在线: 150.7小时
- 虫号: 2296404
- 注册: 2013-02-24
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
dearsodium: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金币+50, ★★★很有帮助, 非常感谢您提供的方法，漏点已经找到，谢谢 2013-04-10 23:40:33
dearsodium: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金币+50, ★★★很有帮助, 非常感谢您提供的方法，漏点已经找到，谢谢 2013-04-10 23:40:33
|
把设备打开，抽真空，但是不溅射。一个人用装有酒精的针管对着接口的缝隙注射少量酒精，另一个人观察真空表，如果真空度明显下降，表明这个地方漏气。可以把所有的接口都检查一遍。当然，如果有专业的真空检漏设备会更好！ |
16楼2013-04-08 10:46:41
dearsodium
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在线: 110.8小时
- 虫号: 1157721
- 注册: 2010-11-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
|
感谢之前的各位朋友的回答，针对大家说的漏气问题我再补充几点，因为最近的实验都是采用的之前的成熟工艺条件在做，分子泵启动后本底真空大概一个半小时到两个小时就能下到9.8*10-4以下，虽然比以前慢，但是慢得并不多，包括之后流量计控进气，高阀控出气的位置，以及溅射时氩气气压的控制，都和以前没有区别，总的说来，抽真空和控气压过程没有明显感觉到有大量漏气的情况，另外氩气已经试用了两瓶了，依然是如题现象，想进一步问一下，如果是漏气的话，是否是漏一点点就会有这么明显的影响。 此外，因为磁控溅射放靶的位置，因为长期使用外加保养不善，稍微有一点鼓起，靶放在上面稍微有一点不平感，请问这是否也会造成影响呢，谢谢大家啦。 |
17楼2013-04-08 10:58:41
keyhole
木虫 (正式写手)
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 7264.2
- 散金: 11
- 红花: 3
- 帖子: 609
- 在线: 107.4小时
- 虫号: 1014691
- 注册: 2010-05-09
- 性别: GG
- 专业: 知识管理
30楼2013-04-21 10:10:47
3楼2013-04-07 21:06:24
26楼2013-04-19 10:58:32
 |
2楼2013-04-07 20:53:45
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊 4楼2013-04-07 21:15:56
dearsodium
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在线: 110.8小时
- 虫号: 1157721
- 注册: 2010-11-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2013-04-07 21:18:34
dearsodium
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在线: 110.8小时
- 虫号: 1157721
- 注册: 2010-11-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2013-04-07 21:26:56
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
8楼2013-04-07 22:40:12
小feixia
金虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 2475.2
- 帖子: 55
- 在线: 49.7小时
- 虫号: 1237796
- 注册: 2011-03-18
- 性别: GG
- 专业: 化学生物学与生物有机化学
9楼2013-04-07 23:53:12
wesley05
版主 (职业作家)
- 应助: 13 (小学生)
- 贵宾: 0.498
- 金币: 22658.1
- 散金: 3884
- 红花: 17
- 沙发: 5
- 帖子: 3124
- 在线: 1041.2小时
- 虫号: 367789
- 注册: 2007-05-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
- 管辖: 访问学者
10楼2013-04-08 00:14:19
