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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题,射频溅射后,靶材表面有明显的黑灰,或者是呈现出彩色光环(如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶),并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色(气体为Ar气),想请教下各位专业人士,这是怎么回事?感谢各位帮忙,大量金币奉送,如能详细解惑,定当重谢,先在此感谢啦~!

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小feixia

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


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dearsodium: 金币+1 2013-04-08 10:30:44
可能是漏气 我见过这样的例子
哈哈
9楼2013-04-07 23:53:12
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