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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题,射频溅射后,靶材表面有明显的黑灰,或者是呈现出彩色光环(如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶),并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色(气体为Ar气),想请教下各位专业人士,这是怎么回事?感谢各位帮忙,大量金币奉送,如能详细解惑,定当重谢,先在此感谢啦~!

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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
dearsodium: 金币+1, 氩气使用的是高纯氩,真空漏气的问题我再检查检查,谢谢 2013-04-07 22:53:21
应该是真空不好
或者,你的氩气纯度低
8楼2013-04-07 22:40:12
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查看全部 34 个回答
2楼2013-04-07 20:53:45
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daling8210

铁虫 (正式写手)

同问,不过我们实验室的陶瓷靶在边缘会有黑灰,金属靶基本没有,彩色光环好像以前见过一块有
3楼2013-04-07 21:06:24
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liujun719

木虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
dearsodium: 金币+20, 有帮助 2013-04-07 21:58:14
dearsodium: 金币+30, 有帮助, 确实是漏气,非常感谢首先应助 2013-04-10 23:37:04
漏气了,和我之前一样,仔细检查吧,找漏点不容易啊
4楼2013-04-07 21:15:56
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