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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题,射频溅射后,靶材表面有明显的黑灰,或者是呈现出彩色光环(如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶),并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色(气体为Ar气),想请教下各位专业人士,这是怎么回事?感谢各位帮忙,大量金币奉送,如能详细解惑,定当重谢,先在此感谢啦~!

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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by liujun719 at 2013-04-07 21:22:01
辉光变红就说明有氧了,靶材变色就是中毒了,靶材被污染了,应该是氧污染,我也没测过黑的是什么,但和你一样的现象,折腾老久才解决问题

您是在找到漏点之后,堵住漏点,就不再有这些现象了吗?那像磁控溅射这个设备上查漏点应该怎么查比较好呢,非常感谢您啊~
7楼2013-04-07 21:26:56
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2楼2013-04-07 20:53:45
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daling8210

铁虫 (正式写手)

同问,不过我们实验室的陶瓷靶在边缘会有黑灰,金属靶基本没有,彩色光环好像以前见过一块有
3楼2013-04-07 21:06:24
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liujun719

木虫 (正式写手)


【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
dearsodium: 金币+20, 有帮助 2013-04-07 21:58:14
dearsodium: 金币+30, 有帮助, 确实是漏气,非常感谢首先应助 2013-04-10 23:37:04
漏气了,和我之前一样,仔细检查吧,找漏点不容易啊
4楼2013-04-07 21:15:56
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