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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！

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1楼 2013-04-07 20:44:42
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by liujun719 at 2013-04-07 21:22:01
辉光变红就说明有氧了，靶材变色就是中毒了，靶材被污染了，应该是氧污染，我也没测过黑的是什么，但和你一样的现象，折腾老久才解决问题

您是在找到漏点之后，堵住漏点，就不再有这些现象了吗？那像磁控溅射这个设备上查漏点应该怎么查比较好呢，非常感谢您啊~
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7楼2013-04-07 21:26:56
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likai1139
2楼2013-04-07 20:53:45
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daling8210

铁虫 (正式写手)
同问，不过我们实验室的陶瓷靶在边缘会有黑灰，金属靶基本没有，彩色光环好像以前见过一块有
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3楼2013-04-07 21:06:24
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liujun719

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+20, ★有帮助 2013-04-07 21:58:14
dearsodium: 金币+30, ★有帮助, 确实是漏气，非常感谢首先应助 2013-04-10 23:37:04
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊
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4楼2013-04-07 21:15:56
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