| 查看: 5457 | 回复: 33 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
dearsodium铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与
|
||||
最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！ IMG_20130407_195546.jpg  IMG_20130407_195644.jpg  IMG_20130407_195657.jpg  IMG_20130407_195821.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | 磁性材料 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
什么脱膜剂可以完全清洗干净啊？
已经有2人回复
-
工程博士申博
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有196人回复
-
求助纯蒙脱石、Na蒙脱石、Ca蒙脱石晶体结构CIF
已经有0人回复
-
暨南大学化学与材料学院赵宇亮院士正在招博士和博后，方向为生物材料和纳米医学
已经有1人回复
-
可生物降解聚酯正在重塑现代医疗器械
已经有0人回复
-
江西理工大学稀土磁性功能材料与物理示范研究生导师创新团队
已经有10人回复
-
发光材料关于色纯度计算
已经有0人回复
-
26届博士申请
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
dearsodium
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在线: 110.8小时
- 虫号: 1157721
- 注册: 2010-11-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2013-04-07 21:26:56
 |
2楼2013-04-07 20:53:45
3楼2013-04-07 21:06:24
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊 4楼2013-04-07 21:15:56