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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题,射频溅射后,靶材表面有明显的黑灰,或者是呈现出彩色光环(如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶),并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色(气体为Ar气),想请教下各位专业人士,这是怎么回事?感谢各位帮忙,大量金币奉送,如能详细解惑,定当重谢,先在此感谢啦~!

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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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dearsodium: 金币+35, ★★★很有帮助, 虽然有广告的嫌疑,但确实有帮助,因为我们的设备个别靶座确实凸起了,而且凸起较为明显,请问垫铝箔或者铜箔,需要在中间挖个洞吗? 2013-04-19 08:04:05
内容已删除
25楼2013-04-18 12:27:01
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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一:你检查下你的靶材密度够不够
第二:靶座突起,导致靶材和靶座接触不良,进而会影响镀膜,可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好,或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三:建议在氩气刚出来的地方 ...

如果凸起很明显的话最好还是取下来,磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好,但是效果肯定还是不如将其磨平了好。
26楼2013-04-19 10:58:32
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