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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！

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1楼 2013-04-07 20:44:42
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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一：你检查下你的靶材密度够不够
第二：靶座突起，导致靶材和靶座接触不良，进而会影响镀膜，可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好，或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三：建议在氩气刚出来的地方 ...

如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。
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26楼2013-04-19 10:58:32
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likai1139
2楼2013-04-07 20:53:45
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daling8210

铁虫 (正式写手)
同问，不过我们实验室的陶瓷靶在边缘会有黑灰，金属靶基本没有，彩色光环好像以前见过一块有
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3楼2013-04-07 21:06:24
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liujun719

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+20, ★有帮助 2013-04-07 21:58:14
dearsodium: 金币+30, ★有帮助, 确实是漏气，非常感谢首先应助 2013-04-10 23:37:04
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊
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4楼2013-04-07 21:15:56
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