21楼: Originally posted by stutfish at 2013-04-08 15:30:08
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧

22楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 20:18:58
那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的？...

25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一：你检查下你的靶材密度够不够
第二：靶座突起，导致靶材和靶座接触不良，进而会影响镀膜，可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好，或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三：建议在氩气刚出来的地方 ...

26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

27楼: Originally posted by keyhole at 2013-04-19 12:50:06
彩色的是形成异质薄膜，就是说靶材中毒了，磨掉表面。可能是漏气，基底是什么，可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。

29楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-21 00:51:44
你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗？...