24小时热门版块排行榜    

查看: 5610  |  回复: 33

stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧
21楼2013-04-08 15:30:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
21楼: Originally posted by stutfish at 2013-04-08 15:30:08
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧

那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的?
22楼2013-04-08 20:18:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+15, 有帮助, 非常感谢您 2013-04-09 10:49:24
引用回帖:
22楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 20:18:58
那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的?...

不清楚~~?S內的機器藥舟附近都會有這樣現象~~不管是日本還是德國的都會有~~SO~~我們就不管她瞜~
23楼2013-04-08 23:52:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springzhfut

铜虫 (初入文坛)

学习了
我的,我的,还是我的
24楼2013-04-15 20:12:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+35, ★★★很有帮助, 虽然有广告的嫌疑,但确实有帮助,因为我们的设备个别靶座确实凸起了,而且凸起较为明显,请问垫铝箔或者铜箔,需要在中间挖个洞吗? 2013-04-19 08:04:05
内容已删除
25楼2013-04-18 12:27:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一:你检查下你的靶材密度够不够
第二:靶座突起,导致靶材和靶座接触不良,进而会影响镀膜,可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好,或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三:建议在氩气刚出来的地方 ...

如果凸起很明显的话最好还是取下来,磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好,但是效果肯定还是不如将其磨平了好。
26楼2013-04-19 10:58:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

彩色的是形成异质薄膜,就是说靶材中毒了,磨掉表面。可能是漏气,基底是什么,可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。
27楼2013-04-19 12:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来,磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好,但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

非常感谢
28楼2013-04-21 00:50:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

引用回帖:
27楼: Originally posted by keyhole at 2013-04-19 12:50:06
彩色的是形成异质薄膜,就是说靶材中毒了,磨掉表面。可能是漏气,基底是什么,可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。

你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗?
29楼2013-04-21 00:51:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+20, 有帮助, 非常感谢您的回答,学习了 2013-04-22 18:34:35
引用回帖:
29楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-21 00:51:44
你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗?...

溅射出的原子最终沉降的目标区(基底)。离子溅射通常是高能粒子在炉内乱飞,所以不仅靶材,连沉积区的底板(基底)表面原子也很有可能被打出来飞入靶材表面,比如用硅片做基底在上面沉积涂层,工艺不好的话,硅可能也会飞到靶材中。真空度不够的可能性应该更大,你可以切块靶材,用SEM的能谱检测下表面黑的和彩色的包含什么元素,有助于判断
30楼2013-04-21 10:10:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 dearsodium 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂院校信息 +4 CX 330 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:48 by ms629
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 机械专硕299求调剂至材料 +3 kkcoco25 2026-03-16 4/200 2026-03-21 03:52 by JourneyLucky
[考研] 材料工程(专)一志愿985 初试335求调剂 +3 hiloiy 2026-03-17 4/200 2026-03-21 03:04 by JourneyLucky
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +5 材化逐梦人 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:26 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕英一数二306 +7 z1z2z3879 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:48 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸! 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 08工学调剂 +5 用户573181 2026-03-20 5/250 2026-03-20 15:47 by xia_2003
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 【同济软件】软件(085405)考研求调剂 +3 2026eternal 2026-03-18 3/150 2026-03-18 19:09 by 搏击518
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 304求调剂 +5 素年祭语 2026-03-15 5/250 2026-03-16 17:00 by 我的船我的海
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
信息提示
请填处理意见