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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
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stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧
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21楼2013-04-08 15:30:08
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by stutfish at 2013-04-08 15:30:08
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧

那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的？
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22楼2013-04-08 20:18:58
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stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+15, ★有帮助, 非常感谢您 2013-04-09 10:49:24
引用回帖:
22楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 20:18:58
那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的？...

不清楚~~?S內的機器藥舟附近都會有這樣現象~~不管是日本還是德國的都會有~~SO~~我們就不管她瞜~
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23楼2013-04-08 23:52:50
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springzhfut

铜虫 (初入文坛)
学习了
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我的，我的，还是我的
24楼2013-04-15 20:12:25
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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+35, ★★★很有帮助, 虽然有广告的嫌疑，但确实有帮助，因为我们的设备个别靶座确实凸起了，而且凸起较为明显，请问垫铝箔或者铜箔，需要在中间挖个洞吗？ 2013-04-19 08:04:05
内容已删除
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25楼2013-04-18 12:27:01
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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一：你检查下你的靶材密度够不够
第二：靶座突起，导致靶材和靶座接触不良，进而会影响镀膜，可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好，或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三：建议在氩气刚出来的地方 ...

如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。
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26楼2013-04-19 10:58:32
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keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

彩色的是形成异质薄膜，就是说靶材中毒了，磨掉表面。可能是漏气，基底是什么，可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。
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27楼2013-04-19 12:50:06
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

非常感谢
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28楼2013-04-21 00:50:32
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
27楼: Originally posted by keyhole at 2013-04-19 12:50:06
彩色的是形成异质薄膜，就是说靶材中毒了，磨掉表面。可能是漏气，基底是什么，可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。

你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗？
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29楼2013-04-21 00:51:44
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keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+20, ★有帮助, 非常感谢您的回答，学习了 2013-04-22 18:34:35
引用回帖:
29楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-21 00:51:44
你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗？...

溅射出的原子最终沉降的目标区（基底）。离子溅射通常是高能粒子在炉内乱飞，所以不仅靶材，连沉积区的底板（基底）表面原子也很有可能被打出来飞入靶材表面，比如用硅片做基底在上面沉积涂层，工艺不好的话，硅可能也会飞到靶材中。真空度不够的可能性应该更大，你可以切块靶材，用SEM的能谱检测下表面黑的和彩色的包含什么元素，有助于判断
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30楼2013-04-21 10:10:47
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