应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
343/4返回列表上一页1234下一页
查看: 6339  |  回复: 33
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧
赞一下 回复此楼
21楼2013-04-08 15:30:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by stutfish at 2013-04-08 15:30:08
是靶材先氣象後又沉積於靶材上與氧化造成的...
基本上  如果不影響PVD製程良率...就不管它吧

那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的？
赞一下 回复此楼
22楼2013-04-08 20:18:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stutfish

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+15, ★有帮助, 非常感谢您 2013-04-09 10:49:24
引用回帖:
22楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 20:18:58
那这种先气相后沉积的问题是必然产生的现象还是可以通过某些参数控制的？...

不清楚~~?S內的機器藥舟附近都會有這樣現象~~不管是日本還是德國的都會有~~SO~~我們就不管她瞜~
赞一下 回复此楼
23楼2013-04-08 23:52:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springzhfut

铜虫 (初入文坛)
学习了
回复此楼
我的，我的，还是我的
24楼2013-04-15 20:12:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+35, ★★★很有帮助, 虽然有广告的嫌疑，但确实有帮助，因为我们的设备个别靶座确实凸起了，而且凸起较为明显，请问垫铝箔或者铜箔，需要在中间挖个洞吗？ 2013-04-19 08:04:05
内容已删除
赞一下 回复此楼
25楼2013-04-18 12:27:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
25楼: Originally posted by shinali at 2013-04-18 12:27:01
第一：你检查下你的靶材密度够不够
第二：靶座突起，导致靶材和靶座接触不良，进而会影响镀膜，可以再靶材和靶座之间垫上铜箔或者铝箔等使其接触良好，或者你可以把靶座拆下来磨平。
第三：建议在氩气刚出来的地方 ...

如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。
赞一下(1人) 回复此楼
26楼2013-04-19 10:58:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

彩色的是形成异质薄膜，就是说靶材中毒了，磨掉表面。可能是漏气，基底是什么，可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。
赞一下 回复此楼
27楼2013-04-19 12:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

非常感谢
回复此楼
28楼2013-04-21 00:50:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
27楼: Originally posted by keyhole at 2013-04-19 12:50:06
彩色的是形成异质薄膜，就是说靶材中毒了，磨掉表面。可能是漏气，基底是什么，可能飞溅的基底原子跟靶材表面反应了。

你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗？
赞一下 回复此楼
29楼2013-04-21 00:51:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

keyhole

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金币+20, ★有帮助, 非常感谢您的回答，学习了 2013-04-22 18:34:35
引用回帖:
29楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-21 00:51:44
你指的底原子是靶材下面放的那个面的材料原子吗？...

溅射出的原子最终沉降的目标区（基底）。离子溅射通常是高能粒子在炉内乱飞，所以不仅靶材，连沉积区的底板（基底）表面原子也很有可能被打出来飞入靶材表面，比如用硅片做基底在上面沉积涂层，工艺不好的话，硅可能也会飞到靶材中。真空度不够的可能性应该更大，你可以切块靶材，用SEM的能谱检测下表面黑的和彩色的包含什么元素，有助于判断
赞一下(2人) 回复此楼
30楼2013-04-21 10:10:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 dearsodium 的主题更新
343/4返回列表上一页1234下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 6/300 2026-08-23 14:45 by KM5EcsNQRBPn
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 8/400 2026-08-23 14:30 by KM5EcsNQRBPn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 6/300 2026-08-23 14:21 by KM5EcsNQRBPn
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 h4CP7TrQR8Lg 2026-08-22 5/250 2026-08-23 12:09 by LR9qGULyN2ew
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 10/500 2026-08-23 07:17 by OEbVnUOu01ol
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 04:04 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:55 by OEbVnUOu01ol
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 00:55 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭