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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
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huanghuolin

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+1, 因为之前一直在做实验，都很正常，但是射频源修过一次后，就成这样了 2013-04-08 10:35:10
我觉得是你的腔体真空度抽的不够高，可能腔体密封性也不是很好，很多国产的溅射台会有类似问题，溅射的时候可能有部分氧离子。靶表面的黑色会不会有机物没处理干净被碳化了呢？
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飞鸽
11楼2013-04-08 01:04:30
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l271859211

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+2, ★有帮助, 好的，感谢啦 2013-04-08 10:36:46
dearsodium: 金币+30, ★★★很有帮助, 确实气路上漏气了，非常感谢您 2013-04-10 23:39:16
我也遇到过类似的问题，我的问题出现在氩气气路，没密封好，进气时漏进去了空气，LZ可以去检测一遍哦~~~~~
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12楼2013-04-08 09:19:34
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l271859211

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
dearsodium: 金币+1, 但是两个铜靶靶面的颜色完全不一样，一个是黑色，一个有点泛蓝 2013-04-08 10:39:13
LZ前两个靶材是铜靶吧，靶上的黑色物质，应该是在溅射是铜被氧化了，生成了氧化铜，附着在靶材表面~~~
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13楼2013-04-08 09:27:27
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+1, 请问这个密封性检查应该怎么操作呢，感觉设备上接口好多，该用什么方法排查呢？ 2013-04-08 10:40:46
检测一下设备的密封性，很有可能是进了氧气或者氮气，引起了靶中毒。
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14楼2013-04-08 09:53:50
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Justin147
15楼2013-04-08 09:59:54
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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dearsodium: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金币+50, ★★★很有帮助, 非常感谢您提供的方法，漏点已经找到，谢谢 2013-04-10 23:40:33
引用回帖:
14楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-04-08 09:53:50
检测一下设备的密封性，很有可能是进了氧气或者氮气，引起了靶中毒。

把设备打开，抽真空，但是不溅射。一个人用装有酒精的针管对着接口的缝隙注射少量酒精，另一个人观察真空表，如果真空度明显下降，表明这个地方漏气。可以把所有的接口都检查一遍。当然，如果有专业的真空检漏设备会更好！
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16楼2013-04-08 10:46:41
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
感谢之前的各位朋友的回答，针对大家说的漏气问题我再补充几点，因为最近的实验都是采用的之前的成熟工艺条件在做，分子泵启动后本底真空大概一个半小时到两个小时就能下到9.8*10-4以下，虽然比以前慢，但是慢得并不多，包括之后流量计控进气，高阀控出气的位置，以及溅射时氩气气压的控制，都和以前没有区别，总的说来，抽真空和控气压过程没有明显感觉到有大量漏气的情况，另外氩气已经试用了两瓶了，依然是如题现象，想进一步问一下，如果是漏气的话，是否是漏一点点就会有这么明显的影响。
此外，因为磁控溅射放靶的位置，因为长期使用外加保养不善，稍微有一点鼓起，靶放在上面稍微有一点不平感，请问这是否也会造成影响呢，谢谢大家啦。
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17楼2013-04-08 10:58:41
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-04-08 10:46:41
把设备打开，抽真空，但是不溅射。一个人用装有酒精的针管对着接口的缝隙注射少量酒精，另一个人观察真空表，如果真空度明显下降，表明这个地方漏气。可以把所有的接口都检查一遍。当然，如果有专业的真空检漏设备 ...

再补充问一下，我们的真空计是复合真空机，一个是电阻单元，只能测到0.1Pa，另一个是电离单元，可以测到10-4Pa以下，请问像这种检漏是要使用电离真空计吗，还是电阻真空计就够用了，谢谢啊
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18楼2013-04-08 11:05:53
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
18楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 11:05:53
再补充问一下，我们的真空计是复合真空机，一个是电阻单元，只能测到0.1Pa，另一个是电离单元，可以测到10-4Pa以下，请问像这种检漏是要使用电离真空计吗，还是电阻真空计就够用了，谢谢啊...

得用电离真空计，因为溅射对真空度的要求特别高，只要有点漏气，都会影响溅射的质量。
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19楼2013-04-08 11:19:34
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dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
19楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-04-08 11:19:34
得用电离真空计，因为溅射对真空度的要求特别高，只要有点漏气，都会影响溅射的质量。...

哦，明白了，谢谢啊
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20楼2013-04-08 14:25:48
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