应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
52/1返回列表
查看: 5728  |  回复: 33
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dearsodium

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与

最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！

IMG_20130407_195546.jpg



IMG_20130407_195644.jpg



IMG_20130407_195657.jpg



IMG_20130407_195821.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2013-04-07 20:44:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
18楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 11:05:53
再补充问一下，我们的真空计是复合真空机，一个是电阻单元，只能测到0.1Pa，另一个是电离单元，可以测到10-4Pa以下，请问像这种检漏是要使用电离真空计吗，还是电阻真空计就够用了，谢谢啊...

得用电离真空计，因为溅射对真空度的要求特别高，只要有点漏气，都会影响溅射的质量。
赞一下 回复此楼
19楼2013-04-08 11:19:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 34 个回答

likai1139
2楼2013-04-07 20:53:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daling8210

铁虫 (正式写手)
同问，不过我们实验室的陶瓷靶在边缘会有黑灰，金属靶基本没有，彩色光环好像以前见过一块有
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-04-07 21:06:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liujun719

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dearsodium: 金币+20, ★有帮助 2013-04-07 21:58:14
dearsodium: 金币+30, ★有帮助, 确实是漏气，非常感谢首先应助 2013-04-10 23:37:04
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-07 21:15:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 34 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 296求调剂 +5 汪！？！ 2026-04-08 5/250 2026-04-15 14:38 by 黑科技花岗岩
[考研] 通信工程求调剂！！！ +4 zlb770521 2026-04-14 4/200 2026-04-14 18:19 by lbsjt
[考研] 279学硕食品专业求调剂院校 20+6 孤独的狼爱吃羊 2026-04-12 28/1400 2026-04-14 15:44 by zs92450
[考研] 考研求调剂 +6 ban班小七 2026-04-11 6/300 2026-04-14 14:06 by 哆啦A梦只是个梦
[考研] 材料复试求调剂 +24 xhhdjdjsjks 2026-04-09 24/1200 2026-04-13 15:49 by 幸免 ..
[考研] 。 +10 李多米lee. 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:58 by yuyin1233
[教师之家] 山东双非院校考核超级无底线，领导幸灾乐祸，教师遭殃恐 +3 qut2026 2026-04-11 7/350 2026-04-12 20:24 by qut2026
[考研] 材料与化工300求调剂 +39 肖开文 2026-04-09 43/2150 2026-04-12 01:30 by 秋豆菜芽
[考研] 22408调剂315分 +3 zhuangyan123 2026-04-09 3/150 2026-04-12 00:25 by 蓝云思雨
[考研] 277 数一104，学硕，求调剂 +21 瓶子PZ 2026-04-09 23/1150 2026-04-11 23:12 by labixiaoqiao
[考研] 303求调剂 +14 SereinQ 2026-04-10 15/750 2026-04-11 20:43 by 蓝云思雨
[考研] 086003调剂求助 +21 苏弋万 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 20:25 by dongdian1
[考研] 工科273调剂 +6 X1999 2026-04-09 7/350 2026-04-11 10:23 by zhq0425
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 一志愿北理工298英一数二已上岸，感谢各位老师 +14 Reframe 2026-04-10 16/800 2026-04-10 23:07 by caotw2020
[考研] 调剂 +19 小张ZA 2026-04-10 20/1000 2026-04-10 22:08 by 猪会飞
[考研] 22408 366分，本科211，一志愿西工大 +4 Rubt 2026-04-09 4/200 2026-04-10 19:51 by chemisry
[考研] 考研调剂-材料类-284 +28 想换手机不想解� 2026-04-08 28/1400 2026-04-09 20:08 by 倒数321?
[考研] 283电子信息求调剂 +4 三石WL 2026-04-08 4/200 2026-04-09 10:21 by wp06
[考研] 二次调剂求老师收留 +3 笑笑袁 2026-04-08 3/150 2026-04-08 23:50 by 醉在风里
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭