| 查看: 5638 | 回复: 33 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
dearsodium铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与
|
||
最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！ IMG_20130407_195546.jpg  IMG_20130407_195644.jpg  IMG_20130407_195657.jpg  IMG_20130407_195821.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
上海交大材料学院招26年秋“申请-考核制”生物材料方向普博生1名 (截至4月10日)
已经有6人回复
-
中国科学院-材料计算小组寻求2026级研究生（包括调剂生/联合培养等）
已经有132人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有173人回复
-
天津高校航空材料先进制造技术与装备课题组拟接收调剂硕士研究生5-6名。
已经有0人回复
-
294 英二数二物化 求调剂
已经有6人回复
-
找金属材料类期刊
已经有2人回复
-
重庆高校接受研究生调剂，材料、化学、计算机方向
已经有0人回复
-
西华大学材料学院表面科学与工程技术科研团队2026年招收研究生
已经有0人回复
-
特殊环境先进金属材料山西省重点实验室接收硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
-
特殊环境先进金属材料山西省重点实验室接收硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
dearsodium
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在线: 110.8小时
- 虫号: 1157721
- 注册: 2010-11-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
|
感谢之前的各位朋友的回答，针对大家说的漏气问题我再补充几点，因为最近的实验都是采用的之前的成熟工艺条件在做，分子泵启动后本底真空大概一个半小时到两个小时就能下到9.8*10-4以下，虽然比以前慢，但是慢得并不多，包括之后流量计控进气，高阀控出气的位置，以及溅射时氩气气压的控制，都和以前没有区别，总的说来，抽真空和控气压过程没有明显感觉到有大量漏气的情况，另外氩气已经试用了两瓶了，依然是如题现象，想进一步问一下，如果是漏气的话，是否是漏一点点就会有这么明显的影响。 此外，因为磁控溅射放靶的位置，因为长期使用外加保养不善，稍微有一点鼓起，靶放在上面稍微有一点不平感，请问这是否也会造成影响呢，谢谢大家啦。 |
17楼2013-04-08 10:58:41
 |
2楼2013-04-07 20:53:45
3楼2013-04-07 21:06:24
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊 4楼2013-04-07 21:15:56
