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dearsodium铁杆木虫 (小有名气)
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[求助]
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与
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最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！ IMG_20130407_195546.jpg  IMG_20130407_195644.jpg  IMG_20130407_195657.jpg  IMG_20130407_195821.jpg |
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mzhuxust
木虫 (小有名气)
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- 专业: 金属材料表面科学与工程
【答案】应助回帖
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dearsodium: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金币+50, ★★★很有帮助, 非常感谢您提供的方法，漏点已经找到，谢谢 2013-04-10 23:40:33
dearsodium: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢 2013-04-08 11:00:35
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把设备打开，抽真空，但是不溅射。一个人用装有酒精的针管对着接口的缝隙注射少量酒精，另一个人观察真空表，如果真空度明显下降，表明这个地方漏气。可以把所有的接口都检查一遍。当然，如果有专业的真空检漏设备会更好！ |
16楼2013-04-08 10:46:41
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2楼2013-04-07 20:53:45
3楼2013-04-07 21:06:24
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊 4楼2013-04-07 21:15:56
