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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
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chery2005

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 10:58:41
感谢之前的各位朋友的回答，针对大家说的漏气问题我再补充几点，因为最近的实验都是采用的之前的成熟工艺条件在做，分子泵启动后本底真空大概一个半小时到两个小时就能下到9.8*10-4以下，虽然比以前慢，但是慢得并不 ...

一个半到两个小时才抽到9.8*10-4，分子泵不给力啊，要不就是有漏气，我们这的分子泵一个半都能抽到1.0*10-4pa了。不平肯定有影响的，会导致接触不良。
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31楼2013-06-17 13:59:50
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王建春198728

金虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来，磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好，但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

请问如果是氧化物的靶材，在溅射完也会变黑，是不是因为致密度不够呢？
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成功
32楼2013-12-09 11:34:47
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是真空不好，检查下设备是不是有漏气的地方，或者是真空度不够？
再者是气氛，是不是纯度不够，重新充下惰性气体试试？
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33楼2014-07-14 14:19:22
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love阳1314

金虫 (小有名气)
引用回帖:
33楼: Originally posted by huihui2eat at 2014-07-14 14:19:22
应该是真空不好，检查下设备是不是有漏气的地方，或者是真空度不够？
再者是气氛，是不是纯度不够，重新充下惰性气体试试？

漏气了
回复此楼
不要太贪玩啦！
34楼2014-07-15 23:32:03
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