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chery2005

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
17楼: Originally posted by dearsodium at 2013-04-08 10:58:41
感谢之前的各位朋友的回答,针对大家说的漏气问题我再补充几点,因为最近的实验都是采用的之前的成熟工艺条件在做,分子泵启动后本底真空大概一个半小时到两个小时就能下到9.8*10-4以下,虽然比以前慢,但是慢得并不 ...

一个半到两个小时才抽到9.8*10-4,分子泵不给力啊,要不就是有漏气,我们这的分子泵一个半都能抽到1.0*10-4pa了。不平肯定有影响的,会导致接触不良。
31楼2013-06-17 13:59:50
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王建春198728

金虫 (小有名气)

引用回帖:
26楼: Originally posted by shinali at 2013-04-19 10:58:32
如果凸起很明显的话最好还是取下来,磨平。建议可以用泡沫镍或者泡沫铜等有弹性的物质垫比较好,但是效果肯定还是不如将其磨平了好。...

请问如果是氧化物的靶材,在溅射完也会变黑,是不是因为致密度不够呢?
成功
32楼2013-12-09 11:34:47
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

应该是真空不好,检查下设备是不是有漏气的地方,或者是真空度不够?
再者是气氛,是不是纯度不够,重新充下惰性气体试试?
33楼2014-07-14 14:19:22
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love阳1314

金虫 (小有名气)

引用回帖:
33楼: Originally posted by huihui2eat at 2014-07-14 14:19:22
应该是真空不好,检查下设备是不是有漏气的地方,或者是真空度不够?
再者是气氛,是不是纯度不够,重新充下惰性气体试试?

漏气了
不要太贪玩啦!
34楼2014-07-15 23:32:03
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