| 查看: 6530 | 回复: 33 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
dearsodium铁杆木虫 (小有名气)
|
[求助]
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人参与
|
||||
最近磁控溅射设备有点问题，射频溅射后，靶材表面有明显的黑灰，或者是呈现出彩色光环（如图分别为PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且辉光颜色也从以前的紫红色变成了明显的粉红色（气体为Ar气），想请教下各位专业人士，这是怎么回事？感谢各位帮忙，大量金币奉送，如能详细解惑，定当重谢，先在此感谢啦~！ IMG_20130407_195546.jpg  IMG_20130407_195644.jpg  IMG_20130407_195657.jpg  IMG_20130407_195821.jpg |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | 磁性材料 | PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
Progress in Materials Science 期刊投稿求助
已经有2人回复
-
【征稿通知】2027 IPPTC 国际石油石化技术会议征稿启动
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有185人回复
-
求博士机会 · 全固态电池方向
已经有2人回复
-
今年没中，请各位大神帮我看一下，评审结果，大概几个ABC。
已经有17人回复
-
面上函评意见出来了，像什么等级？
已经有19人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有2人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射换靶材之后功率变化很大？
已经有8人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
wesley05
版主 (职业作家)
- 应助: 13 (小学生)
- 贵宾: 0.498
- 金币: 22658.1
- 散金: 3884
- 红花: 17
- 沙发: 5
- 帖子: 3124
- 在线: 1041.2小时
- 虫号: 367789
- 注册: 2007-05-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
- 管辖: 访问学者
10楼2013-04-08 00:14:19
 |
2楼2013-04-07 20:53:45
3楼2013-04-07 21:06:24
漏气了，和我之前一样，仔细检查吧，找漏点不容易啊 4楼2013-04-07 21:15:56