应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 产品设计与开发 » 本人学化工的 问下材料方面的知识脉冲磁控溅射和反应磁控溅射是一种方法吗
51/1返回列表
查看: 1087  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

yulinmuxuan

金虫 (正式写手)

[求助] 本人学化工的 问下材料方面的知识脉冲磁控溅射和反应磁控溅射是一种方法吗

两种方法有什么区别？在合成氮化钒方面用哪种方法比较好？谢谢
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

材料学资源

» 本帖@通知

@anxianghai7681 @apersob @avad @bobosgabc @chensijie @chinaworm @comma @dillyu @Edward617 ... 查看更多

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
做最好的自己加油
1楼 2013-03-14 14:25:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yulinmuxuan

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by monsoonli at 2013-03-14 20:57:26
同样是磁控溅射的原理，都是等离子体电离后粒子对靶材的轰击。是不是反应溅射取决与你用的是什么靶材，有没有反应发生；例如你做的是ZnO材料，用Zn靶的话，通过调节氧气的流量在高能量的轰击下反应生成ZnO材料，成为 ...

哦  好的  用基质一般处了 玻璃  硅还有什么啊  各自都适合什么体系？ 上网查半天没插着 ，还有什么基质啊？
赞一下 回复此楼
做最好的自己加油
3楼2013-03-15 08:44:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

monsoonli

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hwweven: 金币+2, 感谢参与应助 2013-03-15 08:02:48
同样是磁控溅射的原理，都是等离子体电离后粒子对靶材的轰击。是不是反应溅射取决与你用的是什么靶材，有没有反应发生；例如你做的是ZnO材料，用Zn靶的话，通过调节氧气的流量在高能量的轰击下反应生成ZnO材料，成为反应溅射；至于脉冲溅射，本人感觉只是溅射的形式的变化吧，可以做反应或者直接沉积，后者接触的不是太多。个人浅见，希望有帮助。
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-14 20:57:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

monsoonli

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版参与交流~ 2013-04-16 11:04:26
不同的体系有不同的基底，常用的就是硅片，玻璃，石英，蓝宝石（Al2O3）等，其它的可能根据体系要求选择吧，我用的最多的也是硅片和石英玻璃。
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-05 15:01:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
314977903: 金币+1, 应助指数+1, 感谢参与应助，欢迎常来材料工程版交流~ 2013-04-16 11:04:55
两者当然不是一回事，反应磁控溅射指的是你所沉积的物质是在沉积过程中通过反应形成的，比如说你要沉积的氮化钒用的靶材并不是氮化钒，而是金属钒，在溅射的过程中通入氮气，两者反应形成氮化钒膜。
脉冲磁控溅射是磁控溅射的一种形式，用他也可以做反应磁控溅射。
赞一下 回复此楼
5楼2013-04-06 11:16:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 274求调剂 +5 S.H1 2026-03-18 5/250 2026-03-18 21:27 by guosr9609
[考研] 085600材料与化工调剂 324分 +8 llllkkkhh 2026-03-18 8/400 2026-03-18 21:01 by Catalysis25
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 10/500 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 0703化学调剂，求各位老师收留 +9 秋有木北 2026-03-14 9/450 2026-03-18 19:49 by macy2011
[考研] 266求调剂 +5 阳阳哇塞 2026-03-14 9/450 2026-03-18 15:05 by stone_128
[考研] 化学工程321分求调剂 +15 大米饭！ 2026-03-15 18/900 2026-03-18 14:52 by haxia
[考研] 314求调剂 +8 无懈可击的巨人 2026-03-12 8/400 2026-03-18 14:50 by haxia
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 材料，纺织，生物（0856、0710），化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +6 困于星晨 2026-03-17 6/300 2026-03-18 10:21 by kkcoco25
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[基金申请] 国自科面上基金字体 +6 iwuli 2026-03-12 7/350 2026-03-16 21:18 by sculhf
[考研] 326求调剂 +4 诺贝尔化学奖觊� 2026-03-15 7/350 2026-03-16 17:11 by 诺贝尔化学奖觊�
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 招收0805（材料）调剂 +3 18595523086 2026-03-13 3/150 2026-03-14 00:33 by 123%、
[考研] ［0860］321分求调剂，ab区皆可 +4 宝贵热 2026-03-13 4/200 2026-03-13 22:01 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +7 ADT 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:17 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭