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risktaker111

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镍 靶位选择

本人想做一下磁控溅射镍薄膜，看了一下小木虫关于磁控溅射镍薄膜的帖子，在这里想重新问一下虫友，镍是有磁性的，有没有用过非强磁靶位制备出镍薄膜的，就是普通的靶位？
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1楼 2013-01-08 10:15:44
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
risktaker111: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助, 有帮助，谢谢 2013-01-08 10:37:34
一般的就行
溅射出来的镍没有那么强的磁性去影响沉积
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2楼2013-01-08 10:25:19
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risktaker111

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-01-08 10:25:19
一般的就行
溅射出来的镍没有那么强的磁性去影响沉积

我的靶材是60*5mm的，直接放在普通靶位，用直流的或者交流电源都可以吗？非常感谢！
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3楼2013-01-08 10:37:19
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liu2004m

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【答案】应助回帖

直流交流都可以
以你的需要决定
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4楼2013-01-08 10:48:47
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risktaker111

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by liu2004m at 2013-01-08 10:48:47
直流交流都可以
以你的需要决定

谢谢
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5楼2013-01-08 11:00:14
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lsx2121

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6楼2013-01-14 01:50:08
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