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risktaker111

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镍 靶位选择

本人想做一下磁控溅射镍薄膜,看了一下小木虫关于磁控溅射镍薄膜的帖子,在这里想重新问一下虫友,镍是有磁性的,有没有用过非强磁靶位制备出镍薄膜的,就是普通的靶位?

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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
risktaker111: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助, 有帮助,谢谢 2013-01-08 10:37:34
一般的就行
溅射出来的镍没有那么强的磁性去影响沉积
2楼2013-01-08 10:25:19
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普通回帖

risktaker111

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-01-08 10:25:19
一般的就行
溅射出来的镍没有那么强的磁性去影响沉积

我的靶材是60*5mm的,直接放在普通靶位,用直流的或者交流电源都可以吗?非常感谢!
3楼2013-01-08 10:37:19
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liu2004m

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【答案】应助回帖

直流交流都可以
以你的需要决定
4楼2013-01-08 10:48:47
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risktaker111

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by liu2004m at 2013-01-08 10:48:47
直流交流都可以
以你的需要决定

谢谢
5楼2013-01-08 11:00:14
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lsx2121

捐助贵宾 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

6楼2013-01-14 01:50:08
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