24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 73.3
散金: 4
帖子: 70
在线: 39.6小时
虫号: 343033
注册: 2007-04-11
性别: GG
专业: 光学

[求助] 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重已有1人参与

各位虫友，我最近用脉冲直流磁控溅射在玻璃基片上镀硅膜。靶悬挂在真空室上方，基片放在靶正下方。实验中, 本底真空为2*10^4 pa，Ar：1000 sccm, 功率为7kw，最后硅膜的厚度为20微米。不知为什么在镀的过程中，靶阳极上镀上的硅会发生脱落，落在基片上，在硅膜上产生了很多的坑。大家以前做的时候遇到过这种情况吗？怎么才能有效的避免阳极上镀上的硅不发生脱落？谢谢大家帮忙

回复此楼

» 猜你喜欢

论文终于录用啦！满足毕业条件了已经有6人回复
2025年遐想已经有4人回复
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球已经有8人回复
自然科学基金委宣布启动申请书“瘦身提质”行动已经有4人回复
求个博导看看已经有18人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银已经有15人回复
直流磁控溅射溅射无法起弧靶材刻蚀严重已经有13人回复
射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体已经有11人回复
求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去已经有4人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化已经有42人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？已经有17人回复
【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~ 已经有8人回复
【求助】磁控溅射 ZnO镀膜已经有16人回复
【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？已经有6人回复
【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？已经有26人回复
【求助】磁控溅射和电子束蒸发两种方式来镀制金属铬膜，哪种的附着力好一些呢？已经有5人回复

1楼 2012-12-28 23:36:24

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 73.3
散金: 4
帖子: 70
在线: 39.6小时
虫号: 343033
注册: 2007-04-11
性别: GG
专业: 光学

镀膜机采用的是靶在真空室上方，基片置于靶下方。靶是矩形平面靶，靶面是向下的。我查了查大概是说 ‘平面靶较易形成的再沉积区，这些被污染的靶面，极易产生掉渣然后落到玻璃基板上。同样这些地方很容易产生打弧，打弧又造成了更多掉渣和大颗粒的形成。’ 感觉我们在镀膜的时候，沉积在阳极上的硅及靶面的再沉积区都会引起掉渣，不知道有没有什么办法可以减少这种掉渣。

镀膜示意图.jpg

条形靶.jpg

赞一下

回复此楼

4楼2012-12-29 21:24:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 73.3
散金: 4
帖子: 70
在线: 39.6小时
虫号: 343033
注册: 2007-04-11
性别: GG
专业: 光学

谢谢大家的讨论，回头我们试试把电源的频率加大点试试。现在频率是80 kHz。因为我们以后要往很大的件上镀Si，所以件只能是放在下边。如上图的靶图，在镀膜机中靶面是向下的，图中靶的压框的下边还有阳极框，阳极里边通的是冷却水。所以在镀膜的过程中，阳极上沉积的si可能会因为和金属的热膨胀系数不一样发生崩裂，掉到基片上。

赞一下

回复此楼

9楼2012-12-30 17:17:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖