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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
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nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyong832 at 2012-12-30 03:31:20
不知道改变（提高）脉冲频率是否有用？

谢谢，现在频率是80KHz，到时我们试试看看。
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11楼2012-12-30 17:19:39
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nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-30 13:01:51
镀20um厚！！！溅射！～
这要花多少钱？干嘛不用键合的方法，把硅片和玻璃键合在一起，然后再减薄。只是这样硅是单晶的，不知道是否合适你用。

这个应该不行，主要以后要往大的件上镀
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12楼2012-12-30 17:20:35
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nmliuhai

铜虫 (小有名气)
我上网查了查，发现有人在玻璃镀膜中遇到了同样的问题。
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13楼2012-12-30 17:21:53
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
12楼: Originally posted by nmliuhai at 2012-12-30 17:20:35
这个应该不行，主要以后要往大的件上镀...

那只能考虑换设备了，你那个设备不适合镀厚膜。
你的片子最后希望多大？
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14楼2012-12-31 15:49:24
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nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-31 15:49:24
那只能考虑换设备了，你那个设备不适合镀厚膜。
你的片子最后希望多大？...

估计到时镀一两米的吧，最近感觉是靶面上往下掉东西，你以前遇到过吗？有没有什么办法解决一下？
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15楼2013-01-09 23:20:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
15楼: Originally posted by nmliuhai at 2013-01-09 23:20:03
估计到时镀一两米的吧，最近感觉是靶面上往下掉东西，你以前遇到过吗？有没有什么办法解决一下？...

没做过这么厚的镀膜啊，类似的设备，也就是镀几千埃的厚度。几十个um的都是电镀，先溅射种子层，然后电镀。
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16楼2013-01-10 22:06:20
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qiaojianhui2003

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

腔室使用过久，该保养啦！北京中玻——王建卫
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17楼2013-03-26 23:08:00
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feiba05

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你们这个问题解决了吗？直流靶材的特性就是镀膜后靶材渣会附在靶材表面，待颗粒累积到一定程度掉落在产品表面。我有一些建议：①靶材边缘防护挡板每次换靶送喷砂，最好是融色处理；镀膜一段时间后高功率（不加氧）洗靶。
ps：我们公司以前都还ok，最近靶材掉渣频繁，请问你们公司那时候最终是怎么解决的？能否告知一下？
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18楼2015-12-27 19:04:40
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