应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
182/2返回列表上一页12
查看: 2638  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyong832 at 2012-12-30 03:31:20
不知道改变（提高）脉冲频率是否有用？

谢谢，现在频率是80KHz，到时我们试试看看。
赞一下 回复此楼
11楼2012-12-30 17:19:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-30 13:01:51
镀20um厚！！！溅射！～
这要花多少钱？干嘛不用键合的方法，把硅片和玻璃键合在一起，然后再减薄。只是这样硅是单晶的，不知道是否合适你用。

这个应该不行，主要以后要往大的件上镀
赞一下 回复此楼
12楼2012-12-30 17:20:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)
我上网查了查，发现有人在玻璃镀膜中遇到了同样的问题。
赞一下 回复此楼
13楼2012-12-30 17:21:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
12楼: Originally posted by nmliuhai at 2012-12-30 17:20:35
这个应该不行，主要以后要往大的件上镀...

那只能考虑换设备了，你那个设备不适合镀厚膜。
你的片子最后希望多大？
赞一下 回复此楼
14楼2012-12-31 15:49:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nmliuhai

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-31 15:49:24
那只能考虑换设备了，你那个设备不适合镀厚膜。
你的片子最后希望多大？...

估计到时镀一两米的吧，最近感觉是靶面上往下掉东西，你以前遇到过吗？有没有什么办法解决一下？
赞一下 回复此楼
15楼2013-01-09 23:20:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
15楼: Originally posted by nmliuhai at 2013-01-09 23:20:03
估计到时镀一两米的吧，最近感觉是靶面上往下掉东西，你以前遇到过吗？有没有什么办法解决一下？...

没做过这么厚的镀膜啊，类似的设备，也就是镀几千埃的厚度。几十个um的都是电镀，先溅射种子层，然后电镀。
赞一下 回复此楼
16楼2013-01-10 22:06:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiaojianhui2003

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

腔室使用过久，该保养啦！北京中玻——王建卫
赞一下 回复此楼
17楼2013-03-26 23:08:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

feiba05

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你们这个问题解决了吗？直流靶材的特性就是镀膜后靶材渣会附在靶材表面，待颗粒累积到一定程度掉落在产品表面。我有一些建议：①靶材边缘防护挡板每次换靶送喷砂，最好是融色处理；镀膜一段时间后高功率（不加氧）洗靶。
ps：我们公司以前都还ok，最近靶材掉渣频繁，请问你们公司那时候最终是怎么解决的？能否告知一下？
赞一下 回复此楼
18楼2015-12-27 19:04:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 nmliuhai 的主题更新
182/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 307求调剂 +10 tzq94092 2026-04-10 10/500 2026-04-12 08:18 by wise999
[考研] 305求调剂 +7 玛卡巴卡boom 2026-04-11 7/350 2026-04-12 07:35 by zhouxiaoyu
[考研] 339求调剂 +7 hanwudada 2026-04-11 7/350 2026-04-11 23:06 by 852137818
[考研] 0859，337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 11:34 by caotw2020
[考研] 计算机11408，286分求调剂 +10 木子念晞 2026-04-05 10/500 2026-04-11 10:44 by zhq0425
[考研] 工科273调剂 +6 X1999 2026-04-09 7/350 2026-04-11 10:23 by zhq0425
[考研] 22408 352分求调剂0854类 +4 努力的夏末 2026-04-09 4/200 2026-04-11 09:57 by zhq0425
[考研] 复试调剂 +9 积极向上； 2026-04-10 11/550 2026-04-11 09:25 by 猪会飞
[考研] 材料类284调剂 +40 想换手机不想解� 2026-04-08 48/2400 2026-04-10 23:28 by 314126402
[材料工程] 材料调剂推荐 +8 蛋糕x2 2026-04-07 8/400 2026-04-10 23:13 by Ftglcn90
[考研] 291 求调剂 +29 化工2026届毕业� 2026-04-09 29/1450 2026-04-10 22:55 by dick_runner
[考研] 考研调剂 +26 硕星赴 2026-04-09 27/1350 2026-04-10 22:24 by 猪会飞
[考研] 调剂 +19 不逢春 2026-04-05 20/1000 2026-04-10 10:15 by may_新宇
[考研] 生物与医药273求调剂 +18 荔题南墙 2026-04-05 19/950 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 调剂 +12 月@163.com 2026-04-08 12/600 2026-04-09 14:27 by rl1980
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +3 慕绝cc 2026-04-09 3/150 2026-04-09 09:57 by liuhuiying09
[考研] 材料求调剂 +18 一样YWY 2026-04-05 18/900 2026-04-07 15:49 by dxlg
[考研] 327考研调剂推荐 +6 呜呜呜呜呢 2026-04-06 6/300 2026-04-06 21:39 by 啵啵啵0119
[考研] 生物学学硕求调剂：351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …～、王…～ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 工科370求调剂 +3 溏心煎鸡蛋 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:55 by 这是一个无聊的�
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭