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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 精细化工 » 功能材料 » 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
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zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？

射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
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1楼 2011-04-12 18:42:53
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tuzikaka

新虫 (初入文坛)
★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间，还有溅射功率以及你靶材的厚度，一般来说功率越大，时间越长，每次损耗就越多，最后靶材厚度在1毫米就不要再用了，防止击穿了
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2楼2011-05-16 10:47:17
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚，使用一段时间后，溅射位置的环会比较深，光辉不太稳定，起辉的电压可能会有所变化，这时你就要当心了，可能该换靶了，当心把靶溅射穿了。
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3楼2011-09-14 07:17:46
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confirage

木虫 (正式写手)
★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
靶材的使用的我一般采用的是利用率，或者在某功率条件下的总的使用时间，这样的话比较有参考意义。随着靶材的使用，越到后面，功率越低...这个是需要经验积累的
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4楼2011-09-16 14:40:05
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wangxin101

木虫 (著名写手)
★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
银笛书生: 阁下就这么喜欢金币吗？ 2012-01-25 18:22:39
一楼正解
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5楼2012-01-25 15:24:48
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mackfzg

铜虫 (小有名气)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
一楼正解，一块靶材，一般都只能够使用1/3。
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6楼2012-04-09 21:25:33
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wajn2012

铜虫 (小有名气)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
靶材用不多久的，会打穿的
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7楼2012-12-17 18:12:42
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huihui1991

铜虫 (小有名气)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
贵金属靶材打穿了可以回收的，成本降低很多啊
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9楼2013-03-11 13:02:23
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ly19900827

新虫 (初入文坛)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by tuzikaka at 2011-05-16 10:47:17
这要看你每次镀多长时间，还有溅射功率以及你靶材的厚度，一般来说功率越大，时间越长，每次损耗就越多，最后靶材厚度在1毫米就不要再用了，防止击穿了

可以请问你下靶溅射后跟溅射前有什么变化吗？怎么判断靶溅射了？
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10楼2015-03-20 10:03:51
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WHY199001168楼
2013-02-26 23:17   回复  
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
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