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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 精细化工 » 功能材料 » 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
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tuzikaka

新虫 (初入文坛)
★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间，还有溅射功率以及你靶材的厚度，一般来说功率越大，时间越长，每次损耗就越多，最后靶材厚度在1毫米就不要再用了，防止击穿了
赞一下(3人) 回复此楼
2楼2011-05-16 10:47:17
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