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zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？

射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
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1楼 2011-04-12 18:42:53
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ly19900827

新虫 (初入文坛)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by tuzikaka at 2011-05-16 10:47:17
这要看你每次镀多长时间，还有溅射功率以及你靶材的厚度，一般来说功率越大，时间越长，每次损耗就越多，最后靶材厚度在1毫米就不要再用了，防止击穿了

可以请问你下靶溅射后跟溅射前有什么变化吗？怎么判断靶溅射了？
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10楼2015-03-20 10:03:51
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