24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 4293  |  回复: 9
本帖产生 1 个 FC-EPI ,点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)


[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?

射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ly19900827

新虫 (初入文坛)



zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by tuzikaka at 2011-05-16 10:47:17
这要看你每次镀多长时间,还有溅射功率以及你靶材的厚度,一般来说功率越大,时间越长,每次损耗就越多,最后靶材厚度在1毫米就不要再用了,防止击穿了

可以请问你下靶溅射后跟溅射前有什么变化吗?怎么判断靶溅射了?
10楼2015-03-20 10:03:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

tuzikaka

新虫 (初入文坛)


★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间,还有溅射功率以及你靶材的厚度,一般来说功率越大,时间越长,每次损耗就越多,最后靶材厚度在1毫米就不要再用了,防止击穿了
2楼2011-05-16 10:47:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)


★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚,使用一段时间后,溅射位置的环会比较深,光辉不太稳定,起辉的电压可能会有所变化,这时你就要当心了,可能该换靶了,当心把靶溅射穿了。
3楼2011-09-14 07:17:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

confirage

木虫 (正式写手)



zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
靶材的使用的我一般采用的是利用率,或者在某功率条件下的总的使用时间,这样的话比较有参考意义。随着靶材的使用,越到后面,功率越低...这个是需要经验积累的
4楼2011-09-16 14:40:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 22408 312求调剂 +16 门路摸摸 2026-04-14 17/850 2026-04-14 23:59 by Xurambo2014
[考研] 273求调剂 +4 白居不易. 2026-04-09 6/300 2026-04-14 19:54 by 逆水乘风
[考研] 药学305求调剂 +6 玛卡巴卡boom 2026-04-11 6/300 2026-04-14 19:48 by zhouxiaoyu
[考研] 材料工程085601,270求调剂 +42 @ASDF1234 2026-04-08 46/2300 2026-04-14 18:12 by 逍遥三郎
[考研] 材料相关专业344求调剂双非工科学校或课题组 +21 hualkop 2026-04-12 22/1100 2026-04-14 17:44 by lhj2009
[考研] 考研二轮调剂 +10 故人?? 2026-04-09 10/500 2026-04-13 09:55 by szhize
[硕博家园] 新一代电子信息294求调剂 不挑学校 +7 Ytyt11 2026-04-09 8/400 2026-04-12 16:57 by ajpv风雷
[考研] 0831生医工第一轮调剂失败求助 +12 小熊睿睿_s 2026-04-11 16/800 2026-04-12 16:28 by 钰璞
[考研] 电气专硕320求调剂 +6 小麻子111 2026-04-10 6/300 2026-04-12 10:54 by lemon6009
[考研] 291求调剂 +11 关忆北. 2026-04-09 12/600 2026-04-12 10:32 by 逆水乘风
[考研] 一志愿华中农微生物,288分,三年实验经历 +11 代fish 2026-04-09 11/550 2026-04-12 10:21 by Hayaay
[考研] 求调剂,一志愿材料科学与工程985,365分, +8 材化李可 2026-04-11 10/500 2026-04-12 08:42 by 852137818
[考研] 280求调剂 +13 wzzz王 2026-04-09 13/650 2026-04-12 00:31 by 勇攀高峰0126
[考研] 调剂 +5 文道星台 2026-04-11 5/250 2026-04-11 15:01 by 凯凯要变帅
[考研] 求调剂 +3 胃痉挛累了 2026-04-11 5/250 2026-04-11 14:13 by luhong1990
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 材料专硕(0856) 339分求调剂 +9 哈哈哈鹅哈哈哈 2026-04-09 10/500 2026-04-09 20:01 by Orcid
[考研] 0703化学求调剂 +21 不知名的小卅 2026-04-08 21/1050 2026-04-09 18:55 by l_paradox
[考研] 复试调剂,一志愿郑州大学材料与化工289分 +31 硕星赴 2026-04-08 31/1550 2026-04-09 16:54 by Delta2012
[考研] 311求调剂 +6 surte 2026-04-08 13/650 2026-04-09 14:00 by surte
信息提示
请填处理意见