24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 4271  |  回复: 9
本帖产生 1 个 FC-EPI ,点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)


[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?

射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

confirage

木虫 (正式写手)



zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
靶材的使用的我一般采用的是利用率,或者在某功率条件下的总的使用时间,这样的话比较有参考意义。随着靶材的使用,越到后面,功率越低...这个是需要经验积累的
4楼2011-09-16 14:40:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

tuzikaka

新虫 (初入文坛)


★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间,还有溅射功率以及你靶材的厚度,一般来说功率越大,时间越长,每次损耗就越多,最后靶材厚度在1毫米就不要再用了,防止击穿了
2楼2011-05-16 10:47:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)


★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚,使用一段时间后,溅射位置的环会比较深,光辉不太稳定,起辉的电压可能会有所变化,这时你就要当心了,可能该换靶了,当心把靶溅射穿了。
3楼2011-09-14 07:17:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangxin101

木虫 (著名写手)



zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
银笛书生: 阁下就这么喜欢金币吗? 2012-01-25 18:22:39
一楼正解
5楼2012-01-25 15:24:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 316求调剂 +5 想读研究生( ?∵ 2026-04-07 5/250 2026-04-12 00:43 by 蓝云思雨
[考研] 280求调剂 +7 兮兮夜夜 2026-04-09 10/500 2026-04-12 00:33 by 蓝云思雨
[考研] 求调剂,985材料与化工348分 +7 涵竹刘 2026-04-11 9/450 2026-04-11 23:13 by 溪涧流水
[考研] 339求调剂 +7 hanwudada 2026-04-11 7/350 2026-04-11 23:06 by 852137818
[考研] 271求调剂 +21 2261744733 2026-04-11 21/1050 2026-04-11 20:19 by Angchemist
[考研] 296求调剂 +6 汪!?! 2026-04-09 6/300 2026-04-11 11:25 by zhq0425
[考研] 293求调剂 +6 勇远库爱314 2026-04-08 6/300 2026-04-11 10:08 by zhq0425
[考研] 346,工科求调剂 +3 moser233 2026-04-09 3/150 2026-04-11 10:04 by zhq0425
[考研] 287求调剂 +15 Fnhc 2026-04-07 21/1050 2026-04-10 19:09 by chemisry
[考研] 初试261 +3 Asht少 2026-04-10 6/300 2026-04-10 16:38 by Asht少
[考研] 071000生物学调剂求助 +17 zzzzwww 2026-04-09 20/1000 2026-04-10 15:55 by 求调剂zz
[考研] 344求调剂 +7 丶风雪夜归人丶 2026-04-09 7/350 2026-04-10 12:05 by pengliang8036
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +20 慕绝cc 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 10:22 by xujun0624
[考研] 材料调剂 +5 hzhahg 2026-04-06 5/250 2026-04-10 10:10 by may_新宇
[考研] 292求调剂 +9 笑笑袁 2026-04-09 9/450 2026-04-10 10:05 by LHGeng
[考研] 本科西工大 0856 324求调剂 +10 wysyjs25 2026-04-09 11/550 2026-04-10 08:37 by 5268321
[考研] 求调剂 +11 wwwwabcde 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:16 by JourneyLucky
[考研] 287分求调剂 有专利国奖一志愿哈工大085406 +6 白易辰 2026-04-06 7/350 2026-04-06 22:46 by 875465
[考研] 机械专硕274求调剂,不挑专业学校 +6 泛泛2333 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:06 by 泛泛2333
[考研] 085500机械专硕初试288求调剂 +3 GZJguo666- 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:06 by jkddd
信息提示
请填处理意见