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zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？

射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
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1楼 2011-04-12 18:42:53
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚，使用一段时间后，溅射位置的环会比较深，光辉不太稳定，起辉的电压可能会有所变化，这时你就要当心了，可能该换靶了，当心把靶溅射穿了。
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3楼2011-09-14 07:17:46
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