应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 精细化工 » 功能材料 » 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
51/1返回列表
查看: 4506  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
本帖产生 1 个 FC-EPI ，点击这里进行查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？

射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-04-12 18:42:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihui1991

铜虫 (小有名气)
★
zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
贵金属靶材打穿了可以回收的，成本降低很多啊
赞一下 回复此楼
9楼2013-03-11 13:02:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

tuzikaka

新虫 (初入文坛)
★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间，还有溅射功率以及你靶材的厚度，一般来说功率越大，时间越长，每次损耗就越多，最后靶材厚度在1毫米就不要再用了，防止击穿了
赞一下(3人) 回复此楼
2楼2011-05-16 10:47:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)
★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚，使用一段时间后，溅射位置的环会比较深，光辉不太稳定，起辉的电压可能会有所变化，这时你就要当心了，可能该换靶了，当心把靶溅射穿了。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2011-09-14 07:17:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

confirage

木虫 (正式写手)
★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
靶材的使用的我一般采用的是利用率，或者在某功率条件下的总的使用时间，这样的话比较有参考意义。随着靶材的使用，越到后面，功率越低...这个是需要经验积累的
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-09-16 14:40:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭