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zhangyushen0

至尊木虫 (著名写手)


[交流] 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?

射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?
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huihui1991

铜虫 (小有名气)



zhangyushen0(金币+1): 谢谢参与
贵金属靶材打穿了可以回收的,成本降低很多啊
9楼2013-03-11 13:02:23
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tuzikaka

新虫 (初入文坛)


★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
blueboy(金币+1, FC-EPI+1): 鼓励应助 2011-05-16 15:02:11
zhangyushen0(金币+5): 谢谢 2011-06-05 08:29:35
这要看你每次镀多长时间,还有溅射功率以及你靶材的厚度,一般来说功率越大,时间越长,每次损耗就越多,最后靶材厚度在1毫米就不要再用了,防止击穿了
2楼2011-05-16 10:47:17
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)


★ ★ ★
zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
newshine20(金币+2): 欢迎交流 2011-09-14 13:36:36
楼上正解。
如果原来的靶材比较厚,使用一段时间后,溅射位置的环会比较深,光辉不太稳定,起辉的电压可能会有所变化,这时你就要当心了,可能该换靶了,当心把靶溅射穿了。
3楼2011-09-14 07:17:46
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confirage

木虫 (正式写手)



zhangyushen0(金币+1):谢谢参与
靶材的使用的我一般采用的是利用率,或者在某功率条件下的总的使用时间,这样的话比较有参考意义。随着靶材的使用,越到后面,功率越低...这个是需要经验积累的
4楼2011-09-16 14:40:05
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