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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉 已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，不知有哪位能帮忙指点一下，万分感谢！！！
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1楼 2010-05-03 15:49:42
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

subject

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:38
我也碰到过类似的问题，有时要把功率调高一些起辉后在调小
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4楼2010-05-05 18:36:11
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doublewei

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:46
最常见的两种情况：
1，金属靶表面氧化，打磨清理干净后即可
2，压靶盖旋的过紧，没有和靶材之间留下适当的距离
赞一下(3人) 回复此楼
6楼2010-05-05 21:40:47
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380677864

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:59:08
增大工作气压和直流溅射功率试试，我们的设备功率会在试验中慢慢变小@！1
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12楼2010-09-23 09:13:04
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普通回帖

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
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zhangwj(金币+1):thanks 2010-05-03 19:33
一下问题请确认：
1。靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净
3。 起辉电源是否正常
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2楼2010-05-03 18:49:22
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zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇
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nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:33
如果所有的条件都没有变出现这个问题，可以把气体的流量调大些，等起辉后在调到原来的流量。
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谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-05-03 19:34:55
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cs_z_rpg

银虫 (初入文坛)
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
是不是设备出现了问题？露起了！
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I tnerver rains,but it pours!
5楼2010-05-05 19:28:10
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582072

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by subject at 2010-05-05 18:36:11:
我也碰到过类似的问题，有时要把功率调高一些起辉后在调小

我也是这样，把功率调高后会起辉，但调回后仍不能起辉。
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7楼2010-05-07 21:48:47
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582072

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by cs_z_rpg at 2010-05-05 19:28:10:
是不是设备出现了问题？露起了！

没发现仪器哪出现问题，你说的露起来说的是哪？
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8楼2010-05-10 09:09:24
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cs_z_rpg

银虫 (初入文坛)
★
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引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-10 09:09:24:

没发现仪器哪出现问题，你说的露起来说的是哪？

抱歉！我上面的字打错了！我指的是露气。如果仪器没有问题的话那可能是其他方面的问题。
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I tnerver rains,but it pours!
9楼2010-05-22 12:12:48
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sportsdw

禁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽
10楼2010-05-25 22:31:40
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