24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
南方科技大学公共卫生及应急管理学院2025级博士研究生招生报考通知
查看: 2291  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,几天没用,后来一用发现在以前的条件下不能起辉(工艺条件都是和以前一样),不知是什么原因造成,不知有哪位能帮忙指点一下,万分感谢!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

doublewei

银虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:46
最常见的两种情况:
1,金属靶表面氧化,打磨清理干净后即可
2,压靶盖旋的过紧,没有和靶材之间留下适当的距离
6楼2010-05-05 21:40:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zhangwj(金币+1):thanks 2010-05-03 19:33
一下问题请确认:
1。靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净
3。 起辉电源是否正常
2楼2010-05-03 18:49:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:33
如果所有的条件都没有变出现这个问题,可以把气体的流量调大些,等起辉后在调到原来的流量。
谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-05-03 19:34:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

subject

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:38
我也碰到过类似的问题,有时要把功率调高一些起辉后在调小
4楼2010-05-05 18:36:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见