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新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，不知有哪位能帮忙指点一下，万分感谢！！！

1楼 2010-05-03 15:49:42

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

Originally posted by subject at 2010-05-05 18:36:11:
我也碰到过类似的问题，有时要把功率调高一些起辉后在调小

我也是这样，把功率调高后会起辉，但调回后仍不能起辉。

7楼2010-05-07 21:48:47

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

Originally posted by cs_z_rpg at 2010-05-05 19:28:10:
是不是设备出现了问题？露起了！

没发现仪器哪出现问题，你说的露起来说的是哪？

8楼2010-05-10 09:09:24

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