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【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉 已有9人参与
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| 我用磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，不知有哪位能帮忙指点一下，万分感谢！！！ |
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zhangwj
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