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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,几天没用,后来一用发现在以前的条件下不能起辉(工艺条件都是和以前一样),不知是什么原因造成,不知有哪位能帮忙指点一下,万分感谢!!!
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新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:38
我也碰到过类似的问题,有时要把功率调高一些起辉后在调小
4楼2010-05-05 18:36:11
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