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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉 已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，几天没用，后来一用发现在以前的条件下不能起辉（工艺条件都是和以前一样），不知是什么原因造成，不知有哪位能帮忙指点一下，万分感谢！！！
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1楼 2010-05-03 15:49:42
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jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zhangwj(金币+1):thanks 2010-05-03 19:33
一下问题请确认：
1。靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净
3。 起辉电源是否正常
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-05-03 18:49:22
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