24小时热门版块排行榜    

查看: 2542  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉 已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,几天没用,后来一用发现在以前的条件下不能起辉(工艺条件都是和以前一样),不知是什么原因造成,不知有哪位能帮忙指点一下,万分感谢!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:59:08
增大工作气压和直流溅射功率试试,我们的设备功率会在试验中慢慢变小@!1
12楼2010-09-23 09:13:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zhangwj(金币+1):thanks 2010-05-03 19:33
一下问题请确认:
1。靶材安装准确否?
2. 靶材表面是否干净
3。 起辉电源是否正常
2楼2010-05-03 18:49:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangwj

荣誉版主 (职业作家)

小木虫无限续航核潜艇

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:33
如果所有的条件都没有变出现这个问题,可以把气体的流量调大些,等起辉后在调到原来的流量。
谢谢支持材料区@小木虫论坛
3楼2010-05-03 19:34:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

subject

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:58:38
我也碰到过类似的问题,有时要把功率调高一些起辉后在调小
4楼2010-05-05 18:36:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 315分,诚求调剂,材料与化工085600 +3 13756423260 2026-03-22 3/150 2026-03-22 20:11 by edmund7
[考研] 环境学硕288求调剂 +6 皮皮皮123456 2026-03-22 6/300 2026-03-22 16:52 by i_cooler
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +5 脱颖而出 2026-03-16 17/850 2026-03-22 15:18 by 脱颖而出
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:12 by 朱芷琳
[考研] 一志愿东华大学化学070300,求调剂 +6 2117205181 2026-03-21 7/350 2026-03-22 14:59 by allen-yin
[考研] 286求调剂 +10 Faune 2026-03-21 10/500 2026-03-21 23:34 by 314126402
[考研] 一志愿深大,0703化学,总分302,求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[基金申请] 学校已经提交到NSFC,还能修改吗? 40+4 babangida 2026-03-19 9/450 2026-03-21 16:12 by babangida
[考研] 268求调剂 +9 简单点0 2026-03-17 9/450 2026-03-21 15:37 by lature00
[考研] 299求调剂 +6 △小透明* 2026-03-17 6/300 2026-03-21 02:42 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ,070300化学学硕,总分287,双非一本,求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:46 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +10 S.H1 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:51 by JourneyLucky
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 304求调剂 +7 司空. 2026-03-18 7/350 2026-03-20 23:08 by JourneyLucky
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +7 困于星晨 2026-03-17 9/450 2026-03-20 17:38 by 无懈可击111
[考研] 298-一志愿中国农业大学-求调剂 +9 手机用户 2026-03-17 9/450 2026-03-20 14:24 by 无懈可击111
[考研] 材料考研调剂 +3 xwt。 2026-03-19 3/150 2026-03-19 11:22 by w沐阳w
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
信息提示
请填处理意见