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新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉 已有9人参与

我用磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,几天没用,后来一用发现在以前的条件下不能起辉(工艺条件都是和以前一样),不知是什么原因造成,不知有哪位能帮忙指点一下,万分感谢!!!
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木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
nuaajsh(金币+1):鼓励交流 2010-09-23 09:59:08
增大工作气压和直流溅射功率试试,我们的设备功率会在试验中慢慢变小@!1
12楼2010-09-23 09:13:04
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380677864

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
回过头再看你的问题,倒觉得打开电源后,等一会,预热一下!或者慢慢增大功率,注意别太大啊
13楼2010-10-09 16:46:01
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